日前,上海发布《半导体行业污染物排放标准(征求意见稿)》。详情如下:
上海
前 言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件于2006年11月1日首1次发布,本次修订为第一次修订。
本文件对DB31/374-2006的主要修订之处如下:
——调整了水污染物排放标准的标准分级;2号站平台黑钱内幕将原***类污染物两个级别的排放标准调整为执行同一级别的排放标准,将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别;调整了大气污染物排放标准的排放速率控制方式,将原来按不同排气筒高度制定标准调整为执行同一标准;
——调整了污染物控制项目:增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂、总锌、综合毒性;增加了大气污染物控制项目颗粒物、氯1气、氮氧化物、苯、锡及其化合物、2号站官网砷1化氢、磷1化氢、非甲烷总烃、氰1化氢;
——调整了部分污染物项目的排放限值;收严了悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、总有机碳等10项水污染物项目的排放限值;收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物的排放限值;
——增加了厂界大气污染物控制点浓度限值;
——更新了部分污染物项目的测定分析方法。
本文件由上海市生态环境局提出、归口并组织实施。
本文件起草单位:上海市环境科学研究院。
引 言
为贯彻《***人民共和国环境保护法》《***人民共和国大气污染防治法》《***人民共和国水污染防治法》《上海市环境保护条例》《上海市大气污染防治条例》,引导半导体行业企业生产工艺和污染治理技术的进步和可持续发展,结合上海市的实际情况,对DB31/374-2006《半导体行业污染物排放标准》进行修订。
本文件实施之日起,新制定或新修订的国1家大气污染物排放标准严于本文件限值,以及国1务院生态环境主管部门或市人民政府发布执行特别排放限值公告的,按照从严原则,按适用范围执行相应大气污染物排放标准。恶臭污染物执行DB31/1025。本文件实施后不再执行上海市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本文件或地方标准时,按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。
本文件由上海市人民政府202□年□□月□□日批准。
半导体行业污染物排放
1 范围
本文件规定了半导体行业企业水和大气污染物排放控制要求、监测和监督管理要求。
本文件适用于半导体行业企业或生产设施的水和大气污染物排放管理,以及建设项目的环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。
本文件规定的水污染物排放控制要求适用于半导体行业企业直接或间接向其法定边界外排放水污染物的行为。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 7466 水质 总铬的测定
GB/T 7467 水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法
GB/T 7470 水质 铅的测定 双硫腙分光光度法
GB/T 7471 水质 镉的测定 双硫腙分光光度法
GB/T 7475 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法
GB/T 7484 水质 氟化物的测定 离子选择电极法
GB/T 7485 水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法
GB/T 7494 水质 阴离子表面活性剂的测定 亚1甲蓝分光光度法
GB/T 11893 水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法
GB/T 11900 水质 痕量砷的测定 硼1氢化钾-硝1酸银分光光度法
GB/T 11901 水质 悬浮物的测定 重量法
GB/T 11907 水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法
GB/T 11910 水质 镍的测定 丁二酮肟分光光度法
GB/T 11912 水质 镍的测定 火焰原子吸收分光光度法
GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法
GB/T 16489 水质 硫化物的测定 亚甲基蓝分光光度法
GB 37822 挥发性有机物无组织排放控制标准
HJ/T 27 固定污染源排气中氯化氢的测定 硫氰酸汞分光光度法
HJ/T 28 固定污染源排气中氰1化氢的测定 异烟1酸-吡唑啉酮分光光度法
HJ/T 30 固定污染源排气中氯1气的测定 甲基橙分光光度法
HJ/T 38 固定污染源排气中非甲烷总烃的测定 气相色谱法
HJ/T 42 固定污染源排气中氮氧化物的测定 紫外分光光度法
HJ/T 43 固定污染源排气中氮氧化物的测定 盐酸萘乙1二胺分光光度法
HJ/T 55 大气污染物无组织排放监测技术导则
HJ/T 60 水质 硫化物的测定 碘量法
HJ/T 65 大气固定污染源 锡的测定 石墨炉原子吸收分光光度法
HJ/T 91.1 污水监测技术规范
HJ/T 195 水质 氨氮的测定 气相分子吸收光谱法
HJ/T 199 水质 总氮的测定 气相分子吸收光谱法
HJ/T 200 水质 硫化物的测定 气相分子吸收光谱法
HJ/T 373 固定污染源监测质量保证与质量控制技术规范(试行)
HJ/T 397 固定源废气监测技术规范
HJ/T 399 水质 化学需氧量的测定 快速消解分光光度法
HJ 484 水质 氰1化物的测定 容量法和分光光度法
HJ 485 水质 铜的测定 二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法
HJ 486 水质 铜的测定 2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法